日本 ULVAC 爱发科 HR600 真空泵 HR1200特点高温区域均热化实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。UR系列可比HR系列更加高温化。氦气密封通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。瞬停对策采取了1000msec以内瞬停对策。出色的耐腐蚀性主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。通信功能可读取与泵运转状态相关的
2025-03-14 admin
日本 ULVAC 爱发科 HR60 真空泵 HR300特点高温区域均热化实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。UR系列可比HR系列更加高温化。氦气密封通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。瞬停对策采取了1000msec以内瞬停对策。出色的耐腐蚀性主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。通信功能可读取与泵运转状态相关的数
2025-03-14 admin
日本 ULVAC 爱发科 LS300A 真空泵 LS600A特点■大气压附近的排气速度最大为80m3/h，与以往的真空泵相比，排气时间可缩短约20%。■标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB（A）以下， 这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级（*1)）■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科独有技术。 该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.
2025-03-14 admin
日本 ULVAC 爱发科 MS1200A 真空泵 LS120A特点■大气压附近的排气速度最大为80m3/h，与以往的真空泵相比，排气时间可缩短约20%。■标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB（A）以下， 这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级（*1)）■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科独有技术。 该技术可将极限压力下的消耗电量降到
2025-03-14 admin
日本 ULVAC 爱发科 MS120A 真空泵 MS600A特点通过对转子轴和气缸等主要部件进行特殊涂层处理，以防腐蚀。采用ULVAC独特设计的转子轴，实现高性能的排粉。从大气压到极限压力，可以在全压力区域连续运行。规格型式MS120AMS600AMS1200A最大排气速度 *1m3/h115560980到达压力Pa≦0.6≦0.1电源电压200V Class：3Phase, 50/60Hz, A
2025-03-14 admin
